光纤式激光干涉仪，QuDIS
激光干涉仪，SJ6000
海德汉长度计，GCD-040101m
三轴加速度传感器，LC0173-0.5
海德汉光栅尺，LB382C
广州信和光栅尺，KA-300（数显表、读数...
PI位移传感器，P611.1
