硅基光子研究中心重点开展微纳光栅多运动参量精密传感器、微纳米线片上混合集成光子器件等研究，在新型光栅光学自成像精密位移传感、单纳米线超低功耗非线性转换、纳米线MOEMS惯性测量等方面取得具有国际影响力的重要学术成果，力争推动光栅位移传感器、片上可集成光源、新效应MOEMS惯性传感器等在半导体制造、精密机械加工、光通信、航空航天等领域的产业化应用。

中心现有教授4人、副教授3人、学生20人左右，承担了国家重大仪器专项、国家自然科学基金、国防科技创新特区、装发预研、领域基金等重大项目多项，在Nano Letters、Crystal Growth&Design、Optics Express等知名期刊发表30余篇高水平学术论文，申请30余项发明专利。